MX61A MX63L 半导体电动检查显微镜——适合 300mm 晶圆检查用的电动机型（反射专用）。通过软件控制内外部设备的显微镜系统。采用电动控制，可不受样品或操作人员等各种条件的影响，实现良好的检查环境。● 可适用于明场、暗场、微分干涉、荧光、简易偏光观察。● 可搭载适用于多种设备的自动对焦机构。
